MOEMS无阻塞阵列光开关

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS无阻塞阵列光开关 微光电子机械系统 Benes网络结构 可靠性 稳定性
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 页码范围: 12
• 页数: 1页
• 分类号: TM56

摘要

“基于微光电子机械系统（MOEMS）无阻塞16×16阵列光开关”项目是中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的国家“863”计划项目。