X射线荧光法测试镀银铜线镀层厚度

• 作者: 张瑾 马磊
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: X射线荧光法 镀层厚度 测厚仪 镀银铜线
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术与应用
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153.1
• 字数: 2372字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2005.03.020

摘要

结合X射线荧光法厚度测定仪FISCHERSCOPEX-RAY XUL,介绍了X射线荧光法测定镀层厚度的基本原理及仪器流程结构,并应用该方法对不同镀银铜线进行了镀层厚度测试,结果表明该方法测试重复性好,精密度高.同时本方法同经典的称重法的比较结果显示,该方法准度高,结果准确可靠.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马磊	中国电子科技集团公司第二十三研究所检测中心	7	16	2.0	4.0
2	张瑾	中国电子科技集团公司第二十三研究所检测中心	5	26	4.0	5.0