强流氧离子注入机注入均匀性分析及提高

• 作者: 刘咸成 唐景庭 贾京英
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 注入机 离子束 均匀性 变速扫描 SOI
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 48-52,59
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 4033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.04.012

摘要

对强流氧离子注入机的注入靶室进行分析探讨,对影响均匀性指标的靶盘结构、束的形状和束扫描注入方式进行研究,结合主体硬件,增加晶片自旋装置和采用新的扫描方式,来提高注入均匀性指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾京英		10	25	3.0	4.0
2	刘咸成		4	4	1.0	2.0
3	唐景庭		2	0	0.0	0.0