新型压电步进型精密直线驱动器

• 作者: 刘国嵩 曾平 杨志刚 程光明 赵宏伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直线驱动器 压电叠堆 柔性铰链 精密驱动 有限元分析
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 291-297
• 页数: 7页
• 分类号: TH703.6|TN384
• 字数: 3497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2005.03.008

摘要

以压电叠堆为驱动元件,设计了新型的步进型精密直线驱动器.驱动器由于设计了独特的双侧对称箝位结构,可以利用精调斜块准确调整箝位面与动子的配合间隙,同时采用整体加工的柔性结构,保证了工作的稳定性和准确性.应用有限元分析方法对步进型精密直线驱动器进行了力学分析,并进行了大量的试验研究.试验测试结果表明:驱动器的分辨率达到40 nm、行程18 mm、驱动速度达到6mm/min,可牵引150 g的载荷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械科学与工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械科学与工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	赵宏伟	吉林大学机械科学与工程学院	212	1233	19.0	27.0
4	刘国嵩	吉林大学机械科学与工程学院	7	94	5.0	7.0
5	曾平	吉林大学机械科学与工程学院	83	1053	18.0	28.0