利用热丝CVD工艺在铁衬底上合成金刚石

• 作者: 石川丰 蒋修治
• 来源期刊: 工业金刚石
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 铁衬底 金刚石 源气体喷射
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TQ163

摘要

尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体，可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样，喷射源气体也有利于硅片上的金刚石合成。