金刚石化学机械抛光垫修整器的发展方向与前景（下）

• 作者: T．Ohi
• 来源期刊: 工业金刚石
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 化学机械抛光垫 修整器 树脂涂覆
• 年，卷（期）: gyjgs,（2）
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.2

摘要

为了改进批量生产中修整器性能的一致性，并实现稳定的抛光率，旭日公司开发了三种新的修整器。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	T．Ohi		2	0	0.0	0.0