MEMS器件虚拟运行中运动规律求解器的设计与实现

• 作者: 卢桂章 谭宜勇 赵新
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 虚拟运行 运动规律 自动求解 编译
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 24-29
• 页数: 6页
• 分类号: TP2
• 字数: 5613字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.2005.12.006

摘要

针对虚拟运行(在器件动态模型的基础上对MEMS器件运动性能进行评测的设计工具,其作用在于建立MEMS设计参数与器件运行之间的直接联系)中运动规律的联立、求解和实时仿真等问题,分析了几种典型MEMS器件的动态模型,提出了运动规律求解器的设计原理和体系结构,其中包括三项关键技术:物理运动规律在部件库系统中的形式化表示,物理问题自动求解的推理算法,以及离线编译的优化技术.最后,设计和实现了运动规律求解器原型系统,并在该系统中测试了微泵的虚拟运行,达到了通过修改阀片设计参数和膜片驱动参数实时观察虚拟运行中状态相应变化的目标,即在微泵的设计参数与其运行之间建立了直接的关联关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢桂章	南开大学机器人与信息自动化研究所	86	1727	19.0	39.0
2	赵新	南开大学机器人与信息自动化研究所	57	583	11.0	21.0
3	谭宜勇	南开大学机器人与信息自动化研究所	7	29	4.0	5.0