IC加工及检测装备超精密工作台自标定技术研究

• 作者: 尹文生 朱煜 朱立伟 段广洪
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超精密 工作台 自标定
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TH161+.5
• 字数: 3317字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.03.005

摘要

在对超精密工作台自标定相关文献综述的基础上,基于刚体运动方程和非线性最优化方法,提出了一种超精密工作台自标定算法.仿真结果表明:该算法可以实现超精密工作台的标定,并且其最终标定精度与辅助测量装置精度无关,只受自标定过程中随机测量噪声的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹文生	清华大学精密仪器与机械学系	39	623	12.0	24.0
2	朱煜	清华大学精密仪器与机械学系	99	1312	17.0	33.0
3	段广洪	清华大学精密仪器与机械学系	122	2923	30.0	49.0
4	朱立伟	清华大学精密仪器与机械学系	4	37	4.0	4.0