碲锌镉衬底缺陷对液相外延碲镉汞薄膜结构的影响

• 作者: 吴刚 唐利斌 姬荣斌 张梅 赵增林 马庆华 黄晖
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: X射线双晶回摆衍射法 貌相术 CdZnTe衬底 HgCdTe薄膜 液相外延 Te沉淀相
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 红外材料器件
• 页码范围: 663-667
• 页数: 5页
• 分类号: TB303|TN204|TN304.91
• 字数: 2944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.09.013

摘要

采用红外显微镜、X射线双晶回摆衍射法、X射线貌相术对CdZnTe衬底中的沉淀相、亚结构、组分偏析等缺陷进行了研究,并对用此衬底液相外延的HgCdTe薄膜作了测试.结果显示:CdZnTe衬底中亚晶界处聚集的位错在外延生长中呈发散状向薄膜中延伸,造成了薄膜形成亚晶界和更大面积的由位错引起的晶格畸变应力区域,影响了薄膜结构的完整性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐利斌	昆明物理研究所红外材料研发中心	60	279	10.0	12.0
2	黄晖	昆明物理研究所红外材料研发中心	18	107	6.0	9.0
3	张梅	昆明物理研究所红外材料研发中心	4	28	2.0	4.0
4	赵增林	昆明物理研究所红外材料研发中心	7	39	3.0	6.0
5	吴刚	昆明物理研究所红外材料研发中心	7	25	2.0	5.0
7	马庆华	昆明物理研究所红外材料研发中心	12	47	4.0	6.0