椭偏法测试聚合物薄膜折射率的研究

• 作者: 周建华 游佰强 王静 肖磊 陈振兴
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 物理学
• 关键词: 聚合物薄膜 椭圆偏振仪 折射率 膜厚
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与元器件
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3130字
• 语种: 中文

摘要

针对聚合物PMMA改性光波导研制的需求,自建了一台变入射角、开放光路、适用范围更广的椭偏测试仪.通过实际测量聚合物PMMA改性薄膜,并与国内椭偏仪实测数据进行对比分析,表明本系统的实验数据更为可信.在此基础上还用本系统实测了几种常用光刻胶薄膜,通过估算和分析它们的折射率在日照前后的变化,进一步验证本系统的可行性和适应性.论文最后对此类系统设置要点进行了归纳,为系统今后的改进提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	游佰强	厦门大学电子工程系	28	231	10.0	14.0
2	周建华	厦门大学电子工程系	10	102	6.0	10.0
3	肖磊	厦门大学电子工程系	6	61	4.0	6.0
4	王静	厦门大学材料科学工程系	29	163	6.0	12.0
5	陈振兴		1	9	1.0	1.0