硅电容式压力传感器

• 作者: 王中文 王丽娟
• 来源期刊: 辽宁大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 硅电容 微机械 差压传感器 MEMS
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 页码范围: 131-134
• 页数: 4页
• 分类号: TN312
• 字数: 2975字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2005.02.011

摘要

在广泛地比较了各种设计方案产业化的难易程度的基础上,最终确定了符合现有的工艺条件、易于产品化以及与其他产品生产相兼容的最佳方案,给出了MEMS的具体的工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王丽娟	辽宁大学轻型产业学院	25	112	7.0	10.0
2	王中文	辽宁大学物理系	18	108	6.0	9.0