类金刚石薄膜的表面性能研究

• 作者: 刘成龙 杨大智 邓新绿 齐民
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: DLC薄膜 表面能 316L不锈钢 接触角
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 720-726
• 页数: 7页
• 分类号: TG174|TB383
• 字数: 3708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.03.033

摘要

利用微波-ECR等离子体源全方位离子注入设备,采用PSII与PSII+PECVD工艺在医用316L不锈钢上制备碳改性薄膜.Raman光谱分析表明,薄膜为典型的类金刚石(DLC)薄膜.静态接触角测量技术研究表明:在酸碱溶液中,DLC薄膜表面价键遭到破坏,稳定性降低.不同工艺制备的DLC薄膜表面能在40mN/m左右,极性分量大于色散分量,呈现出疏水性质.DLC薄膜表面能高低取决于表面碳碳键与粗糙度的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨大智	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	84	1226	20.0	31.0
5	刘成龙	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	9	101	5.0	9.0
9	邓新绿	大连理工大学材料系	28	356	9.0	17.0
10	齐民	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	109	811	16.0	23.0