AlGaN/GaN分布布拉格反射镜的设计与表征

• 作者: 刘斌 周建军 姬小利 张荣 李亮 江若琏 谢自力 郑有炓 韩平 龚海梅
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 分布布拉格反射镜 光学传递矩阵方法
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 氮基紫外器件与材料
• 页码范围: 888-890
• 页数: 3页
• 分类号: O472.8|TN304.2+3
• 字数: 1570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2005.11.026

摘要

设计了反射中心波长为500nm的Al0.3Ga0.7N/GaN和AlN/GaN两种分布布拉格反射镜(DBR),并采用光学传递矩阵方法对其光谱反射率进行了理论上的模拟.采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了样品.实际测量的样品反射谱中有明显的反射峰,但峰值波长与理论设计有偏差,峰值反射率也比理论设计值偏低.SEM和AFM测量结果表明:这是由生长层厚与设计的偏差和界面不平整引起的.