钢渗铬沉积金刚石膜的研究

• 作者: 罗承萍 邱万奇 黄元盛
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 化学气相沉积 渗铬层
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 3183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2812.2005.01.018

摘要

用热解CVD装置研究了甲烷浓度、基底温度、室压对钢渗铬沉积金刚石膜的影响.结果表明,甲烷浓度越低,沉积得到的金刚石膜的晶形越好,甲烷浓度超过0.8%后,金刚石的形貌呈"菜花状";基体温度高时,难于在渗铬层上形成连续的金刚石膜,但基体温度高所得的晶形较好;室压越高,金刚石的形核密度越高,但随室压的升高,金刚石的形貌变差.菜花状金刚石膜是由大量二次晶核长大的微晶金刚石晶粒组成,含有较多的非金刚石碳相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱万奇	华南理工大学机械工程学院	67	339	9.0	15.0
2	罗承萍	华南理工大学机械工程学院	80	1286	19.0	33.0
3	黄元盛	韶关学院机电系	12	44	3.0	6.0