生产型管式PECVD设备

• 作者: 刘恺 宋玲 杨彬 陈必雄
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 太阳能电池 多晶硅
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 专题报道(半导体制造设备)
• 页码范围: 34-36,54
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2005.11.011

摘要

太阳能电池作为新一代的绿色安全、无污染、长寿命的能源,已经广泛在欧洲等发达国家的军民行业中应用并在我国迅速推广.论述了由中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的生产型管式PECVD设备的原理、构成及特点,并对其工艺结果进行了讨论.该设备已在国内太阳能电池生产线上运行近一年,其可靠性高,成膜均匀性好,得到了用户的好评.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘恺	中国电子科技集团公司第四十八研究所	11	8	2.0	2.0
2	宋玲	中国电子科技集团公司第四十八研究所	9	35	4.0	5.0
3	杨彬	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	6	2.0	2.0
4	陈必雄	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	4	1.0	1.0