一种用于压电驱动微动工作台的测控系统

• 作者: 叶梅 叶虎年 吴才章 林伟
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷 微位移 迟滞 蠕变 EPP
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 372-374,388
• 页数: 4页
• 分类号: TM384
• 字数: 1991字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2005.04.011

摘要

研究了压电陶瓷驱动器特有的迟滞和儒变特性,针对它的这些非线性特点,给出了一种有效消除这些非线性误差的闭环控制方案.采用高精度A/D和D/A转换芯片,设计了基于PC机并行增强口EPP协议的控制板.在自行设计高压驱动电路的基础上,研制出了用于纳米级定位的数字闭环控制器.测试结果表明,此控制器很好地克服压电陶瓷驱动器的非线性特性,系统定位精度优于10 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶梅	华中科技大学仪器系	26	165	6.0	12.0
2	叶虎年	华中科技大学仪器系	37	365	11.0	18.0
3	林伟	华中科技大学仪器系	11	231	7.0	11.0
4	吴才章	华中科技大学仪器系	4	9	2.0	2.0