一种新型微致动元件的制作及特性研究

• 作者: 张力 荆阳 雒建斌
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: PMN-PZT 压电多层膜 U形微致动器 DTA-TGA
• 年，卷（期）: 2005,（24）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2222-2226
• 页数: 5页
• 分类号: TH7|TN4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.24.015

摘要

介绍了一种用于计算机磁头精确定位的新型压电元件.该元件采用高速流延工艺制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr0.52Ti0.48)O3多层膜,由丝网印刷工艺制作Ag/Pd内电极.为优化元件的制作工艺,对流延过程作了DTA/TGA分析.结果显示,采用110℃、350℃和1090℃的三步烧结工艺可显著提高元件的钙钛化程度,从而提高其压电性能,减少内部缺陷.对元件的XRD分析显示,110℃和350℃时压电薄膜中以钙钛矿相为主,且存在大量的焦绿石相,当烧结温度达到1090℃时,焦绿石相的含量已经很少.SEM分析表明,与最终烧结温度1070℃相比,当烧结温度达到1090℃时元件的显微结构更为致密,内部缺陷更少.封装测试在多普勒干涉仪上进行,结果表明,该致动器具有优异的位移/电压灵敏度、谐振频率等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张力	清华大学摩擦学国家重点实验室	48	715	13.0	25.0
2	雒建斌	清华大学摩擦学国家重点实验室	96	1802	22.0	37.0
3	荆阳	清华大学摩擦学国家重点实验室	6	37	4.0	6.0