用DBD-PECVD方法合成碳纳米管

• 作者: 冯克成 李社强 李飞 江南 石晓光
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: 碳纳米管 介质阻挡放电 等离子体增强化学气相沉积 镍催化
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 200-203
• 页数: 4页
• 分类号: O461|O539|O613.71|O614.81
• 字数: 2364字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2005.03.011

摘要

在大气压、较低温度下合成碳纳米管(CNTs),对于大规模的工业生产具有重要的意义.本文介绍了一种介质阻挡放电等离子体增强化学气相沉积(DBD-PECVD)的方法,并利用该方法制备碳纳米管.实验是在约0.5个大气压、700℃下,通入氢气和甲烷的混合气体(CH4/H2为1∶10～1∶20),产生DBD等离子体;衬底为硅片;催化剂是用磁控溅射制备的Ni/Al薄膜,厚度分别为3nm和10nm.在扫描电镜下观察发现,碳纳米管的生长符合底端生长模式.在透射电镜下观察,碳纳米管没有竹节状结构.拉曼光谱分析表明,这种碳纳米管的结构缺陷比较多.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江南	中国科学院物理研究所	110	2450	30.0	46.0
2	李飞	长春理工大学理学院	160	1494	22.0	32.0
4	石晓光	长春理工大学理学院	30	197	7.0	12.0
5	冯克成	长春理工大学理学院	38	205	8.0	12.0
8	李社强	中国科学院物理研究所	4	22	3.0	4.0