激光直写调焦系统特性及离焦应用研究

• 作者: 孙戎 杨国光 梁宜勇
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光直写设备 离焦 调焦系统 线宽
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 光学仪器
• 页码范围: 269-272
• 页数: 4页
• 分类号: O434.19
• 字数: 3338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2005.02.021

摘要

为适应直接光刻法高效制作不同线宽的需要,提出了一种基于二象限探测器的新的调焦方案用于极坐标激光直接写入设备,这种调焦方案适于在离焦状态下制作不同线宽线条.针对转台和直线平移台两种主要离焦源的不同特点,采用快速精动机构和慢速粗动机构进行补偿.二象限光电探测器、压电型微位移执行器和高压运算放大器等分别构成调焦系统的输入、输出和驱动部分.该激光直写设备在离焦模式下制作了均匀的3.0 μm线宽的螺旋线,表明了离焦直写在制作可变线宽上的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁宜勇	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	38	190	8.0	12.0
2	杨国光	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	91	1226	21.0	30.0
3	孙戎	浙江公安高等专科学校实验中心	6	38	3.0	6.0