浅析半导体晶圆代工厂的特气供应系统

• 作者: 彭志辉 黄其煜
• 来源期刊: 半导体行业
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆代工 特种气体 大宗气体 阈限值 气体供应系统 半导体 晶圆 工厂 特气 设计要点
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 65-68
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.23
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄其煜	上海交通大学微电子学院	37	221	7.0	14.0
2	彭志辉	上海交通大学微电子学院	3	17	1.0	3.0