溶胶凝胶反提拉法制备PZT铁电薄膜及La3+, Ca2+离子混合掺杂对薄膜结构和性能的影响

• 作者: 张树人 杨成韬 杨邦朝 王升 陈祝
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 锆钛酸铅 溶胶-凝胶法 反提拉涂膜 前驱单体 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 708-712
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3368字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2005.06.010

摘要

采用醋酸铅、硝酸锆、钛酸丁酯制备的独立前驱单体,通过溶胶-凝胶反提拉涂膜技术在基片Pt/Ti/SiO2/Si上制备了锆钛酸铅(lead zirconate titanate, PZT)铁电薄膜.反提拉涂膜技术是通过逆向思维而提出的薄膜制备新方法,该技术避免了浸渍提拉涂膜存在的机械传动装置较难操作和控制的问题,且能够一次性在多个异形器件上同时大面积涂膜.分析了不同金属离子掺杂,特别是高、低价离子混合掺杂对薄膜微结构和性能的影响,发现:同时掺杂La3+,Ca2+离子比单独掺杂La3+离子薄膜的剩余极化强度Pr大,且漏电电流明显减小,另外金属离子掺杂有利于降低薄膜晶化温度和增大晶粒尺寸.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张树人	电子科技大学微电子与固体电子学院	187	1176	16.0	24.0
2	杨邦朝	电子科技大学微电子与固体电子学院	253	3422	31.0	49.0
3	陈祝	电子科技大学微电子与固体电子学院	15	74	6.0	8.0
4	杨成韬	电子科技大学微电子与固体电子学院	67	255	8.0	12.0
5	王升	电子科技大学微电子与固体电子学院	13	89	6.0	9.0