MEMS器件微装配系统的设计与研制

• 作者: 孙立宁 荣伟彬 谢晖 陈立国
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微装配 MEMS 显微视觉 作业工具
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳操作装配及微电池技术
• 页码范围: 1226-1228,1232
• 页数: 4页
• 分类号: TP242.2
• 字数: 3684字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.002

摘要

在分析微装配特点的基础上,讨论了微装配系统的功能需求和组成.提出了一种新型MEMS器件微装配系统设计方案,描述了系统样机关键技术模块的研制方案.以微型光谱分析仪极板对准为示范目标开展了实验研究,结果表明该系统适用于典型MEMS芯片的微对准和封装研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬		98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁		379	7003	43.0	61.0
3	陈立国		43	626	14.0	23.0
4	谢晖		12	183	8.0	12.0