驱动信号与微波信号物理隔离的RF MEMS开关的研究

• 作者: 周百令 张龙 朱健 贾世星 郁元卫 陆乐
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS开关 隔离 机电耦合 电磁场
• 年，卷（期）: 2005,（14）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 1254-1258
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.14.010

摘要

针对MEMS开关在宽带应用时遇到的驱动信号与微波信号间的干扰问题,论述了驱动信号与微波信号物理隔离的多种开关的设计,分析了4种结构形式的MEMS开关,使用IntelliSuite 软件进行开关机电耦合分析.在开关总的结构尺寸确定的前提下,使用ADS/Momentum场分析软件,微调膜桥和梁的结构参数,通过通孔接地实现微带线与CPWG信号的连接,通过驱动电极的结构和连接方式及与微波信号线间隙的调整,实现了MEMS开关整体性能的优化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱健		43	318	11.0	16.0
3	贾世星		20	158	8.0	11.0
4	周百令		106	1086	17.0	23.0
7	郁元卫		20	101	6.0	9.0
8	陆乐		5	52	4.0	5.0
9	张龙		7	66	4.0	7.0