射频磁控溅射制备TiO2-xNx薄膜及其光催化特性研究

• 作者: 刁训刚 刘海鹰 杨盟 王天民 陈顺利
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 化学
• 关键词: 掺氮TiO2薄膜 光催化 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 464-466
• 页数: 3页
• 分类号: O643
• 字数: 1978字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.03.046

摘要

利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了透明TiO2和TiO2-xNx薄膜样品,通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及UV-Vis分光光度计等测试手段表征了样品的结构、形貌和光催化性能.结果表明制备的薄膜为锐钛矿相结构.随着N2/Ar气流比的增大薄膜样品出现新的物相,吸收光谱向可见光方向展宽,在N2/Ar流量比为3:100时,制备的薄膜在可见光区具有很好的光催化性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天民	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	140	1545	22.0	32.0
2	陈顺利	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	3	30	2.0	3.0
3	刁训刚	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	55	359	10.0	16.0
4	杨盟	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	7	105	5.0	7.0
5	刘海鹰	北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心	6	75	4.0	6.0