金刚石薄膜纯度、取向性与辐射剂量计性能的关系

• 作者: 冉均国 廖晓明 张进 王兵 苏葆辉 苟立
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 纯度 取向性 电阻率 辐射剂量计
• 年，卷（期）: 2005,（z2）
• 页码范围: 751-754
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 2880字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-185X.2005.z2.036

摘要

金刚石膜的纯度和取向性对其做成剂量计后的性能有很大的影响.为了制备性能优良的金刚石膜辐射剂量,采用微波等离子体化学气相法在单晶硅[100]衬底上沉积了具有[100]和[111]晶面取向的金刚石膜,通过优化合成工艺制备出高纯、高度取向的织构膜(准单晶膜).分析金刚石膜的形貌、取向性和纯度以及器件的X光电响应特性.结果表明,金刚石膜的电阻率与纯度有直接关系,与膜取向性之间的关系不大.膜电阻率的提高是石墨相和C-H键等非金刚石相减少的结果,膜电阻率的大小直接影响到器件的信噪比高低.对X光响应的灵敏度,取向性影响较纯度大.高纯、高[100]取向膜做成的器件有高的X光响应灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苟立		100	858	13.0	25.0
2	冉均国		130	1122	16.0	28.0
3	王兵		41	255	9.0	14.0
4	张进		34	141	7.0	10.0
5	苏葆辉		34	153	6.0	10.0
6	廖晓明		23	43	4.0	4.0