类金刚石薄膜微观摩擦性能的FFM评价——针尖尺度效应

• 作者: 丁建宁 凌智勇 李长生 范真 解国新
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 类金刚石薄膜 微观摩擦性能 摩擦力显微镜 针尖尺寸效应
• 年，卷（期）: 2006,（16）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1730-1734
• 页数: 5页
• 分类号: TG17
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.16.020

摘要

采用等离子体增强气相沉积制备了类金刚石薄膜,利用原子力显微镜的轻敲模式观察了它们的形貌,并在考虑外加载荷和扫描速度的基础上,用摩擦力显微镜(FFM)对比考察了尖端探针和平头探针对类金刚石薄膜摩擦性能评价的影响.结果表明:类金刚石薄膜的表面粗糙度随基底负偏压的增加而减小;存在于探针和类金刚石薄膜之间的水膜对尖端探针的剪切阻力贡献较大,且尖端探针测得的摩擦力变化趋势受扫描速度影响显著;水膜对平头探针起着不同形式的润滑作用,从而导致平头探针和类金刚石薄膜之间摩擦性能的速度效应存在差异;利用摩擦力显微镜考察类金刚石薄膜的摩擦性能时,存在着明显的针尖尺寸效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长生		127	626	12.0	18.0
2	凌智勇		54	400	12.0	17.0
3	丁建宁		146	769	14.0	19.0
4	范真		61	532	11.0	20.0
5	解国新		12	37	4.0	5.0