纳米尺度表面形貌测量的双图像拼接法

• 作者: Joseph Fu Theodore V. Vorburger 褚巍 赵学增
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 碳纳米管 双图像拼接法 图像配准
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 166-170,174
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 2927字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2005.09.031

摘要

与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径.然而,在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度,它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较精确的边墙数据,而另外一侧失真较大.提出一种双图像拼接方法,样本在经过一次测量以后被旋转180°,然后重新测量,分别保留两次测量中较好的一侧边墙测量数据,并把它们拼接成一幅更接近真实样本的图像.采用基于ICP算法的图像配准技术匹配两次测量图像,消除两次测量的位置偏差,并应用双线性插值和最小二乘拟合方法对配准后的图像进行处理,计算得到更准确的线宽和边墙角等单刻线样本的特征尺寸值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	褚巍	哈尔滨工业大学机电工程学院	17	111	6.0	9.0