微摩擦测试的微力传感器设计

• 作者: 王梁 程先华
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微摩擦 传感器 测量 微机电系统
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 金属学与金属工艺
• 页码范围: 1792-1794,1798
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.58
• 字数: 1917字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-2467.2005.11.013

摘要

论述了一种新的应用于微摩擦测试的微力传感器,这种微力传感器能同时测定微小摩擦力及相应正压力的大小,其独特的悬臂结构消除了多维力传感器普遍关注的耦合问题.正压力和摩擦力的测力原理分别基于应变片法和位移法.标定及静态特性的分析表明,该微力传感器具有较高的测力精度和分辨力,适合于mN级的摩擦测试.摩擦测试实验表明,该微力传感器完全能进行各种润滑膜的微摩擦性能评估测试,从而为微摩擦研究提供了一种有效的实验工具.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程先华	上海交通大学机械与动力工程学院	100	916	18.0	24.0
2	王梁	上海交通大学机械与动力工程学院	4	49	4.0	4.0