MEMS微加速度传感器的系统级仿真

• 作者: 刘妤 张流强 梁玉前 温志渝
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS CAD 微加速度传感器 系统级仿真 宏模型
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 293-295
• 页数: 3页
• 分类号: TH824
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.102

摘要

概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝		143	1259	18.0	26.0
2	刘妤		6	64	3.0	6.0
6	张流强		34	188	7.0	11.0
7	梁玉前		15	266	6.0	15.0