无损检测磷化铟与砷化镓基材料直接键合结构质量的方法

• 作者: 劳燕锋 吴惠桢 封松林 齐鸣
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 结构质量 直接键合 无损检测 砷化镓基材料 磷化铟 化合物半导体 CaAs 发明专利 InP
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 页码范围: 41
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.12
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐鸣	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	34	145	8.0	9.0
2	劳燕锋	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	24	69	5.0	7.0
3	封松林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	44	296	8.0	16.0
4	吴惠桢	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	23	87	6.0	7.0