激光光热反射技术对薄膜热物性的表征

• 作者: 方健文 王志海 陈赵江
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 光热反射 多参数拟合 热扩散率 界面热阻
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 385-390
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 4636字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2006.03.021

摘要

在考虑探测光束光斑尺寸对调制光热反射(MPR)信号影响的基础上,建立了三维的薄膜-衬底体系的激光光热反射理论模型.对利用激光光热反射技术测量薄膜热物性的可行性进行了研究,并对影响调制光热反射信号的材料参数进行了分析.此外,通过数值模拟研究了多参数拟合问题,即利用调制光热反射频响信号同时确定薄膜热扩散率、衬底热扩散率和界面热阻这三个物理参数.结果表明,与已有的径向扫描方法相比,频率扫描方法中的这三个参数之间并不存在高度的相关性,因此采用频响信号进行多参数拟合,可提高多参数拟合的收敛性和精确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈赵江	浙江师范大学数理学院	17	47	4.0	6.0
2	方健文	浙江师范大学数理学院	21	116	5.0	10.0
3	王志海	浙江师范大学数理学院	14	38	4.0	6.0