ZAO透明导电薄膜的制备及性质

• 作者: 殷胜东 马勇
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: ZAO薄膜 电学性能 光学性能 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055

摘要

ZAO（ZnO：Al）透明导电薄膜是一种具有高的载离子浓度和宽禁带的半导体氧化物，电学和光学性能优异。极具应用前景。本文介绍了ZAO薄膜的制备现状、特性、磁控溅射参数对其电学和光学性质的影响以及今后研究的方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马勇	重庆师范大学物理学和信息技术学院	52	378	11.0	17.0
2	殷胜东	重庆师范大学物理学和信息技术学院	7	15	3.0	3.0