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用于微机电系统的叉形微铰链
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摘要：
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微机电系统微弹簧优化设计方法
微机电系统
微弹簧
弹性系数
优化设计
微机电系统技术及其应用
微机电系统
组成及特征
材料特性及加工工艺
应用领域
片上系统与微机电系统
片上系统
微机电系统
市场分析
电子信息
微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长
微机电系统
微流体相变
微气泡生长
微小有限空间
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期刊影响力
实验力学
主办单位：
中国力学学会
中国科技大学
出版周期：
双月刊
ISSN：
1001-4888
CN：
34-1057/O3
开本：
大16开
出版地：
安徽省合肥市金寨路96号 中国科学技术大学实验力学编辑部
邮发代号：
26-57
创刊时间：
1986
语种：
chi
出版文献量（篇）
2191
总下载数（次）
8
总被引数（次）
18482
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