MEMS热激发红外脉冲光源

• 作者: 包宗明 吴飞蝶 周嘉 王建业 纪新明 鲍敏杭 黄宜平
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 红外光源 发射率 气体传感器 辐射材料
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与元器件
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TN212
• 字数: 3095字
• 语种: 中文

摘要

设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较.测试结果显示,发射光谱带在2～4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20～40 Hz之间有较好的调制度.这些特性已经符合多数红外传感器的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴飞蝶	复旦大学微电子系	5	72	4.0	5.0
2	纪新明	复旦大学微电子系	12	81	4.0	8.0
3	王建业	复旦大学微电子系	6	82	4.0	6.0
4	周嘉	复旦大学微电子系	25	123	7.0	10.0
5	黄宜平	复旦大学微电子系	39	270	10.0	14.0
6	包宗明	复旦大学微电子系	11	24	4.0	4.0
7	鲍敏杭	复旦大学微电子系	11	72	6.0	8.0