降低超硬类金刚石薄膜应力的方法

• 作者: 任妮 赵栋才
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 DLC 内应力 超硬膜
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TB43
• 字数: 3995字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2006.01.001

摘要

在参考他人最近十几年研究的基础上,总结了降低超硬类金刚石薄膜内应力的几种方法,包括热退火、掺杂、加脉冲偏压、沉积多层膜等.退火在降低应力的同时可保持类金刚石薄膜很高的硬度,其他各种方法在降低应力时都以降低一定的硬度为代价.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任妮	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	13	164	8.0	12.0
2	赵栋才	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	7	97	6.0	7.0