金属镀层膜厚量值溯源方法的研究

• 作者: 叶孝佑 朱小平 杜华 王蔚晨
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 镀层厚度 X荧光 台阶高度 溯源
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 溯源技术和新仪器的研制
• 页码范围: 186-188
• 页数: 3页
• 分类号: TH7
• 字数: 2231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2006.z1.048

摘要

对金属镀层膜厚的不同测量方法进行了比较分析,提出通过设计台阶镀层和测量台阶高度的方法,实现镀层量值的直接溯源,并与X荧光分析测量法进行大量的比对测量试验,验证台阶镀层测量方法的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	朱小平		29	142	6.0	11.0
3	杜华		33	201	8.0	12.0
4	王蔚晨		17	98	5.0	9.0