应用XRF法对陶瓷金属化厚度的检测

• 作者: 伍智 曾敏 杨卫英 邹桂娟 金大志
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷金属化厚度 X射线荧光光谱法 无损检测
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 40-42
• 页数: 3页
• 分类号: TN107
• 字数: 2043字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2006.02.012

摘要

采用X射线荧光光谱(XRF)法研究了陶瓷金属化厚度的无损检测方法,进行了检测用标准片的设计和标定,分析了金属化层成分与含量,建立了XRF无损检测厚度方法的应用程序和校准方法.研究结果表明:采用X射线荧光光谱法,对陶瓷金属化厚度进行无损检测是可行的和可靠的;在试验的范围内(12.66～87.02μm),测量误差小于5%,RSD小于2%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾敏	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	80	4.0	8.0
2	伍智	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	23	3.0	4.0
3	金大志	中国工程物理研究院电子工程研究所	43	130	6.0	8.0
4	杨卫英	中国工程物理研究院电子工程研究所	13	54	3.0	7.0
5	邹桂娟	中国工程物理研究院电子工程研究所	8	21	3.0	4.0