微电铸技术及其工艺优化进展研究

• 作者: 于中尧 于军 李冠男 罗磊 郭旻 黄成军
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电铸工艺 微影微电铸微模铸 微机电系统 选择性射流电铸
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-5,27
• 页数: 6页
• 分类号: TQ153.4
• 字数: 5090字
• 语种: 中文

摘要

随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力.然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展.因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺的应用和推广起着重要作用.着眼于目前微电铸工艺中存在的不足,从工艺缺陷的理论形成机理出发,总结了近期微电铸领域在工艺缺陷的改进方面所做出的努力及成果,并对微电铸工艺未来的发展趋势提出了一些看法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
2	李冠男	华中科技大学电子科学与技术系	18	287	10.0	16.0
3	罗磊	华中科技大学电子科学与技术系	4	44	2.0	4.0
4	黄成军	华中科技大学电子科学与技术系	4	54	4.0	4.0
5	郭旻		2	45	2.0	2.0
6	于中尧		1	38	1.0	1.0