KZ-400离子束刻蚀装置的研制

• 作者: 凤良杰 孙继武 徐德权 徐朝银 董晓浩 赵飞云 阎佐健 高飞
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束刻蚀 有限元分析 扫描运动 束流密度均匀性 优化设计
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 48-53
• 页数: 6页
• 分类号: TN405.982
• 字数: 4642字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.01.013

摘要

日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置.它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀.通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置性能的主要因素,优化工艺结构,使各项指标达到了设计要求,现已投入运行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐朝银	中国科学科技大学国家同步辐射实验室	24	119	6.0	9.0
2	董晓浩	中国科学科技大学国家同步辐射实验室	8	75	5.0	8.0
3	赵飞云	中国科学科技大学国家同步辐射实验室	12	41	3.0	5.0
4	高飞	中国科学科技大学国家同步辐射实验室	45	265	10.0	14.0
5	徐德权	中国科学科技大学国家同步辐射实验室	3	38	2.0	3.0
6	凤良杰	中国科学科技大学国家同步辐射实验室	12	55	4.0	7.0
7	阎佐健		1	18	1.0	1.0