CVD金刚石的形核和生长

• 作者: 罗承萍 邱万奇 陈灵 黄元盛
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石 形核
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 382-385
• 页数: 4页
• 分类号: TB333
• 字数: 2580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2006.08.002

摘要

应用自制的热解丝CVD装置,研究了在金刚石沉积过程中改变甲烷浓度对其形核和生长的影响.结果表明,金刚石形核后,增加甲烷浓度,仍然可以在硅基底表面继续形成新的晶核.但是甲烷浓度由0.6%逐渐增加到1.2%时,所得最终形核密度比一开始就将甲烷浓度设为1.2%的形核密度低.新晶核比先形成的晶核具有较大的长大速度,随后所有晶核尺寸逐渐趋向相同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈灵	华南理工大学机械工程学院	29	99	6.0	8.0
2	邱万奇	华南理工大学机械工程学院	67	339	9.0	15.0
3	罗承萍	华南理工大学机械工程学院	80	1286	19.0	33.0
4	黄元盛	韶关学院机电系	12	44	3.0	6.0