压电薄膜型精密运动平台研究

• 作者: 刘建芳 华顺明 张宏壮 程光明 范尊强
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电双晶片 精密运动平台 粘滑效应 微操作 微小机器人
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 635-640
• 页数: 6页
• 分类号: TN384|TH703.6
• 字数: 3445字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.020

摘要

提出了一种利用双压电晶片驱动小型平台的研究方案,该平台可实现水平面内的两自由度精密运动.在对粘滑型运动机构的工作原理进行分析的基础上,建立了压电式粘滑机构的动力学模型并进行了仿真分析,设计研制了试验样机,并从运动性能和承载能力两个方面对样机进行了实验研究.实验结果表明,设计的压电薄膜型精密运动平台结构简单、体积小、质量轻、步距稳定且行程大,电压低于30 V驱动时,步距误差不超过0.5μm,承载能力约为自身质量的7～8倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程光明	吉林大学机械工程学院	164	2317	26.0	37.0
2	张宏壮	吉林大学机械工程学院	13	91	5.0	9.0
3	刘建芳	吉林大学机械工程学院	48	387	11.0	17.0
4	范尊强	吉林大学机械工程学院	14	103	5.0	10.0
5	华顺明	吉林大学机械工程学院	16	245	9.0	15.0