新型压电步进式二维精密驱动器

• 作者: 刘国嵩 曾平 杨志刚 程光明
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 二维驱动器 压电叠堆 柔性铰链 精密驱动 有限元分析
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 602-606
• 页数: 5页
• 分类号: TN384|TH703.6
• 字数: 3429字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.04.014

摘要

设计了新型压电步进式精密二维驱动器.以压电叠堆为驱动元件,在单体柔性结构上实现直线和旋转驱动二维精密驱动.同时利用独特的双侧对称箝位结构,保证工作的稳定性和准确性.进行了二维驱动器的有限元分析,通过大量试验研究.证明二维驱动器达到基本设计功能.试验结果表明:二维驱动器的旋转驱动分辨率达到0.45μrad,行程360°,速度达到0.04 rad·s-1时,扭矩可达0.2 N·m;直线驱动分辨率40 nm,行程20 mm,速度19.2 mm·min-1时,驱动力可达近10 N,可实现2自由度精密驱动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	刘国嵩	吉林大学机械工程学院	7	94	5.0	7.0
4	曾平	吉林大学机械工程学院	83	1053	18.0	28.0