一种纳米级二维微定位工作台的设计与分析

• 作者: 孙立宁 荣伟彬 马立 高燕
• 来源期刊: 光学 精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性铰链 纳米定位工作台 有限元分析
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 406-411
• 页数: 6页
• 分类号: TH703.6
• 字数: 2942字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2006.03.013

摘要

研究开发了一种采用柔性铰链导向的二维光学调整微定位工作台,建立了工作台的简化模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿x、y方向刚度及前二阶固有频率解析式.进行了微定位工作台固有频率及沿x、y方向刚度的试验测试,并结合解析方法和有限元方法对微定位工作台设计刚度及动力特性进行分析验证.有限元分析表明:当工作台的直角平板柔性铰链长度较小而铰链宽度较大时,其刚度、频率及驱动力较高,铰链根部应力集中也较严重.通过改变柔性铰链的特征参数,可达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出了一种优选微定位工作台柔性铰链参数的简易方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	马立	哈尔滨工业大学机器人研究所	15	446	10.0	15.0
4	高燕	哈尔滨工业大学机器人研究所	1	49	1.0	1.0