光致硅微悬臂梁形变理论研究

• 作者: 周嘉 许谷城 郭育林 鲍敏杭 黄宜平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光致应变效应 微悬臂梁 弯曲
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳尺度性能
• 页码范围: 1693-1696
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3328字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.101

摘要

研究了硅悬臂梁的光致应变效应的基本理论.从力学和半导体物理学基本理论出发,考虑了光生载流子的空间分布以及载流子表面复合,提出了一种新的光致悬臂梁弯曲的模型和计算光致应变效应引起的悬臂梁弯曲量的方法.模型更为合理的解释了光致悬臂梁弯曲的根本动力,其计算结果和实验测量结果与文献报道相比更为接近.研究为基于光致应变效应的硅悬臂梁传感器打下了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周嘉	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	25	123	7.0	10.0
2	黄宜平	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	39	270	10.0	14.0
3	鲍敏杭	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	11	72	6.0	8.0
4	郭育林	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	2	1	1.0	1.0
5	许谷城	复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系	1	1	1.0	1.0