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摘要:
研究了硅悬臂梁的光致应变效应的基本理论.从力学和半导体物理学基本理论出发,考虑了光生载流子的空间分布以及载流子表面复合,提出了一种新的光致悬臂梁弯曲的模型和计算光致应变效应引起的悬臂梁弯曲量的方法.模型更为合理的解释了光致悬臂梁弯曲的根本动力,其计算结果和实验测量结果与文献报道相比更为接近.研究为基于光致应变效应的硅悬臂梁传感器打下了理论基础.
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文献信息
篇名 光致硅微悬臂梁形变理论研究
来源期刊 传感技术学报 学科 工学
关键词 光致应变效应 微悬臂梁 弯曲
年,卷(期) 2006,(5) 所属期刊栏目 微纳尺度性能
研究方向 页码范围 1693-1696
页数 4页 分类号 TN3
字数 3328字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.101
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周嘉 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 25 123 7.0 10.0
2 黄宜平 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 39 270 10.0 14.0
3 鲍敏杭 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 11 72 6.0 8.0
4 郭育林 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 2 1 1.0 1.0
5 许谷城 复旦大学专用集成电路及系统国家重点实验室微电子学系 1 1 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
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1989(1)
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2017(1)
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  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
光致应变效应
微悬臂梁
弯曲
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
传感技术学报
月刊
1004-1699
32-1322/TN
大16开
南京市四牌楼2号东南大学
1988
chi
出版文献量(篇)
6772
总下载数(次)
23
总被引数(次)
65542
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导