用"尺子"实现纳米精密光刻校准

• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 检测、测试和测量
• 页码范围: 15
• 页数: 1页
• 分类号: TN2
• 字数: 1291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2583.2006.03.011