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CVD金刚石膜的热化学抛光技术
金刚石膜
热化学抛光
扩散
超高速抛光
金刚石热化学抛光的机理研究
金刚石抛光
热化学抛光
原子力显微镜
X射线光电子能谱
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 CN2763249一种金刚石膜热化学抛光夹具
来源期刊 磨料磨具通讯 学科 工学
关键词 热化学抛光 金刚石膜 夹具 无机非金属材料 实用新型 夹持装置 旋转运动 紧密接触 抛光盘 夹套
年,卷(期) mlmjtx_2006,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 18
页数 1页 分类号 TH132
字数 语种 中文
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2006(0)
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研究主题发展历程
节点文献
热化学抛光
金刚石膜
夹具
无机非金属材料
实用新型
夹持装置
旋转运动
紧密接触
抛光盘
夹套
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
磨料磨具通讯
月刊
河南省郑州市华山路121号
出版文献量(篇)
5059
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9
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