快速循环热处理对(Co0.35Fe0.65)99O1薄膜磁性能的影响

• 作者: 张怀武 荆玉兰 蒋向东
• 来源期刊: 电子科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 软磁薄膜 高频 记录磁头 热处理
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 电子信息材料与器件
• 页码范围: 246-248
• 页数: 3页
• 分类号: TM271
• 字数: 1974字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0548.2006.02.029

摘要

针对(Co0.35Fe0.65)99O1薄膜,研究了两种不同热处理工艺对其磁性能的影响.结果表明:快速循环热处理可以改善高磁矩(Co0.35Fe0.65)99O1薄膜磁性能,在450℃几个快速循环热处理后,沉积薄膜的矫顽力从105下降到3 Oe,电阻率下降到70%,a-Fe(Co)相晶粒尺寸可以减小到15～35nm,该处理方法较以往的热处理更能改善软磁薄膜的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张怀武	电子科技大学微电子与固体电子学院	294	2211	20.0	32.0
2	蒋向东	电子科技大学微电子与固体电子学院	34	154	6.0	10.0
3	荆玉兰	电子科技大学微电子与固体电子学院	26	167	9.0	11.0