利用Ba0.65Sr0.35RuO3缓冲层制备高热释电系数的Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜

• 作者: 刘兴钊 吴传贵 张万里 李言荣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡薄膜 热释电系数 缓冲层 铁电介电辐射计
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 123-126,149
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 3671字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.02.011

摘要

采用射频(RF)溅射,在Ba0.65Sr0.35TiO3(BST)薄膜和Pt/Ti/SiO2/Si衬底之间,制备10 nm厚的Ba0.65Sr0.35RuO3(BSR)缓冲层,研究了BSR缓冲层对BST薄膜结构和性能的影响.与没有加BSR缓冲层的BST薄膜相比,BSR缓冲层可以使BST薄膜呈高度a轴择优取向生长,改善了薄膜的介电常数,降低了薄膜的漏电流密度,使其热释电系数达到7.45×10-7 C·cm-2·K-1.这表明利用BSR缓冲层可以制备高热释电性能的BST薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李言荣	电子科技大学微电子与固体电子学院	115	824	15.0	21.0
2	张万里	电子科技大学微电子与固体电子学院	142	705	13.0	17.0
3	刘兴钊	电子科技大学微电子与固体电子学院	56	310	9.0	14.0
4	吴传贵	电子科技大学微电子与固体电子学院	27	96	5.0	8.0