混合物理化学气相沉积法制备Mg衬底MgB2薄膜

• 作者: 余增强 冯庆荣 姚丹 庄承钢 张开成 王福仁
• 来源期刊: 北京大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: MgB2薄膜 M-T曲线 X射线衍射图 SEM图 EDX成分分析
• 年，卷（期）: 2006,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 357-360
• 页数: 4页
• 分类号: O51
• 字数: 2408字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0479-8023.2006.03.014

摘要

用混合物理化学气相沉积(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)法在Mg衬底上原位制备出MgB2超导薄膜样品.超导起始转变温度Tc(onset)＝39.5 K,SEM(Scanning Electron Microscopy)图显示晶型结构为六方形,晶粒生长较为致密.样品的X射线衍射分析表明,MgB2薄膜是多晶的,没有择优方向.晶粒大小约为400nm～1μm.结果表明HPCVD技术在Mg表面直接沉积MgB2薄膜是可行的,对Mg原料的节约和MgB2线材的制备具有一定优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余增强	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	8	19	4.0	4.0
2	姚丹	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	3	12	3.0	3.0
3	庄承钢	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	3	7	2.0	2.0
4	张开成	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	2	7	2.0	2.0
5	冯庆荣	北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室	28	65	5.0	6.0