硅纳米孔柱阵列的酒敏特性研究

• 作者: 冯春岳 李新建 杨光 陈绍军
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 硅纳米孔柱阵列 层次结构 酒敏特性 气体传感器
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2205字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2006.12.006

摘要

采用水热腐蚀技术制备了表面同时具有规则阵列结构和多孔结构的硅微米/纳米结构复合体系硅纳米孔柱阵列(Si-NPA),并测试了其电阻酒敏特性.结果表明:Si-NPA对酒精具有较高的灵敏度和较快的响应时间.Si-NPA良好的酒精敏感性能被归因于Si-NPA的表面结构,即高灵敏度来自于其巨大的比表面积对酒精分子的物理吸附,而快响应时间则来源于其表面规则的硅柱阵列为气体的传输提供有效的通道.Si-NPA独特的层次结构使其有可能在未来硅基薄膜传感器等方面得到应用.